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光学装置のためのリチウムTantalateの化合物半導体のウエファーは装置を見た

リチウムTantalateのウエファー
2022-05-12
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光学装置、鋸装置に使用する化合物半導体のリチウムTantalateのウエファー 化合物半導体は2つ以上の元素で構成される半導体である。リチウムTantalate (LiTaO3)のウエファーは複数の光学装置、特に表面の音波(鋸)装置のために使用される。鋸装置プロセスの石版印刷のために、LiTaO3磨くことは必要である。このペーパーでは、化学に機械に磨くことのために使用された商業スラリー... もっと見る
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