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切口の円柱キャビティ水晶圧力センサーのエンド キャップ

圧電ウェーハ
2022-07-13
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#6インチのPiezoウエファー #8インチのPiezoウエファー #4"圧電気のウエファー
水晶圧力センサーのための切られた円柱水晶Endcaps 厚させん断モード圧力センサーは感知要素としてカットの両凸厚さのせん断モード共鳴器を用いる。共鳴器は2つのカットのシリンダーかendcapsの間で対称的に置かれる。BonTekは切られた水晶endcapsで提供する。 圧力範囲の減らされたAFそして準の増加を可能にする多数の自由度はある。（i）共鳴器（h）の厚さ、（ii）エンド キャップ（t）の... もっと見る
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