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紫外線からの赤外線広い透明物の範囲へのLiTaO3磨くウエファー

LiTaO3ウエファー
2022-05-12
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紫外線からの赤外線広い透明物の範囲への化学機械磨くLiTaO3ウエファー リチウムtantalate (LiTaO3)に圧電気の、電気光学および非線形光学特徴および紫外線から赤外線に行く広い透明物の範囲がある。LiTaO3ウエファーが滑らかな表面良質と作用するためにだったことは好ましい。化学に機械に磨くことが(CMP)集積回路(IC)をplanarizeまたは基質の高い表面質を得るのに使用されてい... もっと見る
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