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詳細情報 |
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| 材料: | リタオ3 薄膜 | グレード: | SAWグレード |
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| オリエンテーション: | 42Yカット,Zカット,36Yカットなど | 表面の終わり: | ポーランド,ラップ |
| 直径: | 3インチ,4インチ | 厚さ: | 80±2um |
| 第一次平たい箱: | 22±2mm,32±2mm | 適用する: | パイロ電気 |
| ハイライト: | 薄膜 LiTaO3ウエーファー,生物医学センサーにおけるリチウムタンタラート・ウェーファー,リチウムタンタレートウエファー 3インチ |
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製品の説明
薄膜,強力な応用:生物医学センサーにおけるリタO3
バイオメディカルセンサーの分野では LiTaO3は 熱電池効果と超薄質のウエファーへの取り組みにより 変化をもたらします円盤の厚さは 20um ほどで直径は 4 インチまでバイオメディカルセンサーで利用すると,様々な医療用アプリケーションで不可欠な正確な温度測定を保証します.患者の監視から 診断ツールへ生物医学における敏感性と信頼性を優先するイノベーションの基礎となる.
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直径 |
76.2±0.2mm |
100±0.2mm |
150±0.2mm |
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主要フラット |
22±1mm |
32±1mm |
47.5mm, 57.5mm, ノッチ |
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オリエンテーション |
36°Y, 42°Y, X-112°Y, Y, Z |
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厚さ |
0.02mm~1.0mm |
0.02mm~1.0mm |
0.05mm~1.0mm |
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表面仕上げ |
シングル / ダブルサイド・ポーリング / ダブルサイド・ラップ |
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TTV |
< 1~5μm |
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ボウ |
± (20μm~40um) |
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ワープ |
<= 20μm ~ 50μm |
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LTV (5mmx5mm) |
<1.5mm |
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PLTV ((<0.5um) |
≥98% (5mm*5mm) 2mmの縁を除く |
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滑らかな面 Ra |
荒さ Ra<=5A |
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裏側の基準 |
粗さ Ra:0.5-1.0μm,GC#1000 |
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スクラッチ&ディグ (S/D) |
20/10,40/20,60/40 |
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エッジプロファイル |
SEMI M1.2で完成しました. GC800#で. |
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裂け目,シール痕跡,汚れ |
ない |
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結晶構造 |
トリゴナル,スペースグループR3c,ポイントグループ3m |
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セルパラメータ |
a=5.154Å,c=13.781Å |
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溶融点 |
1650°C |
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キュリー温度 |
60°C |
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モース硬さ |
5.5 |
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密度 |
7.46g/cm3 |
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ダイレクトリック常数 |
ε11/ε0:51.7 |
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ε33/ε0:44.5 |
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弾性硬さ係数 |
CE11:2.33 ((×1011N/m2) |
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CE33:2.77 ((×1011N/m2) |
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ピエゾ電圧の常数 |
d22:2.4 ((×10-11C/N) |
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d33:0.8 ((×10-11C/N) |
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トランスミッションの範囲 |
400〜4500nm |
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電気光学係数 |
r33=30.4pm/V |
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屈折率 632.8nm |
2 は 2 です.176,ne=2 とする.180 |