詳細情報 |
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材料: | リタオ3 薄膜 | グレード: | SAWグレード |
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オリエンテーション: | 42Yカット,36Yカット,Zカットなど | 表面の終わり: | DSP、SSP |
直径: | 3インチ,4インチ | 厚さ: | 50±2mm,100±2mm |
第一次平たい箱: | 22±2mm,32±2mm | 適用する: | パイロエレクトリック |
ハイライト: | SSP リチウムタンタル酸ウエーファー,厚さ 30mm LiTaO3 薄膜,3インチLitaO3ウエーファー |
製品の説明
3インチ4インチ30um厚のリタO3薄膜: Pyroelectric エレガンス 再定義
リタオ3薄膜の優雅さと 繊細さと洗練が合う 熱電池効果を深み知ろう20umのウェーファーレベルの厚さと4インチまでの直径を誇る温度変動がLitaO3の火力効果を誘発するので炎の検出やスペクトロスコピーのような応用には不可欠です薄さにより反応性が向上し,技術革新の精度を追求する者にとって LiTaO3は好みの材料になります
直径 |
76.2±0.2mm |
100±0.2mm |
150±0.2mm |
オリエンテーション フラット |
22±1mm |
32±1mm |
47.5mm, 57.5mm, ノッチ |
切断角 |
36°Y, 42°Y, X-112°Y, Y, Z |
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厚さ |
0.02mm~1.0mm |
0.02mm~1.0mm |
0.03mm~1.0mm |
表面仕上げ |
シングル / ダブルサイド・ポーリング / ダブルサイド・ラップ |
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TTV |
< 1~5μm |
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ボウ |
± (20μm~40um) |
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ワープ |
<= 20μm ~ 50μm |
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LTV (5mmx5mm) |
<1.5mm |
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PLTV ((<0.5um) |
≥98% (5mm*5mm) 2mmの縁を除く |
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滑らかな面 |
荒さ Ra<=5A |
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裏側 |
粗さ Ra:0.5-1.0μm,GC#1000 |
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S/D |
20/10,40/20,60/40 |
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エッジプロファイル |
SEMI M1.2で完成しました. GC800#で. |
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裂け目,シール痕跡,汚れ |
ない |
結晶構造 |
トリゴナル,スペースグループR3c,ポイントグループ3m |
セルパラメータ |
a=5.154Å,c=13.781Å |
溶融点 |
1650°C |
キュリー温度 |
60°C |
モース硬さ |
5.5 |
密度 |
7.46g/cm3 |
ダイレクトリック常数 |
ε11/ε0:51.7 |
ε33/ε0:44.5 |
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弾性硬さ係数 |
CE11:2.33 ((×1011N/m2) |
CE33:2.77 ((×1011N/m2) |
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ピエゾ電圧の常数 |
d22:2.4 ((×10-11C/N) |
d33:0.8 ((×10-11C/N) |
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トランスミッションの範囲 |
400〜4500nm |
電気光学係数 |
r33=30.4pm/V |
屈折率 632.8nm |
2 は 2 です.176,ne=2 とする.180 |
承認チェック
- 製品が壊れやすい.我々はそれを適切に梱包し,壊れやすいとラベルを付けました.我々は優れた国内外の宅急便会社を通じて輸送品質を確保します.
- 商品を受け取った後,慎重に扱って,外側の箱が良好かどうか確認してください.外側の箱を注意深く開けて,梱包箱が並んでいるかどうかを確認してください.外に出る前に写真を撮って.
わかった
- 製品を使用する際に,掃除用パッケージをクリーンルームで開けてください.
- 宅配中に製品が損傷していることが判明した場合は,直ちに写真またはビデオを撮影してください. 損傷した製品を包装箱から取り出さないでください.すぐにお問い合わせください,そして我々は問題をうまく解決します..