温度および圧力のための厚させん断モード水晶共鳴器センサーの検討

抽象的この仕事は厚さの使用をせん断する温度の感知および圧力測定のためのモード共鳴器を見直す。そのようなセンサーの利点は本来デジタル フォーマット、高リゾリューション、高精度な、および長期にわたる安定性を含んでいる。この仕事は引用されたセンサーの性能の結果と共に装置の操作にかかわる物理的な主義を見直す。
最も早い商用化された温度検出器は独立単位だった。使用および商業成功は異なった段階を通って展開し利用できる補助的な電子工学によって一部にはその時に決まる。
いくつかの温度感知の適用は他の厚さのせん断の共鳴器センサーに補助的である。2つの主要な部門は温度修正のための別の共鳴器および単一の厚さのせん断の共鳴器のデュアル モード操作である。デュアル モード操作は異なった厚さのせん断モード家族からの2つのモードまたは同じ厚さのせん断モード家族からの2つのモードの使用に細分する。
いろいろな圧力センサーは事実をという圧力バイアスの厚さのせん断の共鳴器の変更の頻度使用する。そのような適用は使用される圧力バイアスのパターンに依存した部門に便利に分かれる。
言葉圧電気の共鳴器、圧力測定、水晶、水晶共鳴器のトランスデューサー、共鳴器、温度の測定、トランスデューサーを指示しなさい。